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    “中国芯”关键材料国产化

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    三甲硅烷基胺 （TSA）
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    三甲硅烷基胺 （TSA）
    • 中文名：三甲硅烷基胺
    • 英文名：Trisilylamine
    • CAS号：13862-16-3
    • 用途：通过流动化学气相沉积（FCVD）形成氧化硅
    • 纯度指标：99.65%
    • 规格：公斤级
    二异丙氨基硅烷 （DIPAS）
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    二异丙氨基硅烷 （DIPAS）
    • 中文名： 二异丙氨基硅烷
    • 英文名：Diisopropylaminosilane
    • CAS号：908831-34-5
    • 用途：形成晶种
    • 纯度指标：8N
    • 规格：公斤级
    四氯化钛 （Ticl₄）
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    四氯化钛 （Ticl₄）
    • 中文名：四氯化钛
    • 英文名：Titanium tetrachloride
    • CAS号：7550-45-0
    • 熔点：-25℃
    • 沸点：135 - 136 °C
    • 蒸气压：12.8 hPa 在 20 °C
    • 产品等级：6N
    • 规格：15kg
    四乙氧基硅烷 （TEOS）
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    四乙氧基硅烷 （TEOS）
    • 中文名：四乙氧基硅烷
    • 英文名：Tetraethoxysilane
    • CAS号：1978-10-4
    • 熔点：-82.49℃
    • 沸点：168°C
    • 蒸气压：10.0 hPa 在 20℃
    • 产品等级：9N
    • 规格：17.7kg、35kg、200kg
    双（二乙氨基）硅烷 （BDEAS）
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    双（二乙氨基）硅烷 （BDEAS）
    • 中文名： 双（二乙氨基）硅烷
    • 英文名：Bis(diethylamino)silane
    • CAS号：27804-64-4
    • 熔点：＜-10℃
    • 沸点：188℃
    • 产品等级：5N
    • 规格：10kg
    六氯乙硅烷（HCDS）
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    六氯乙硅烷（HCDS）
    • 中文名：六氯乙硅烷
    • 英文名：Hexachlorodisilane
    • CAS号：13465-77-5
    • 沸点：144 - 145.5℃
    • 产品等级：6N
    • 规格：13kg
    八甲基环四硅氧烷 (OMCTS)
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    八甲基环四硅氧烷 (OMCTS)
    • 中文名：八甲基环四硅氧烷
    • 英文名：Octamethyl cyclotetrasiloxane
    • CAS号：556-67-2
    • 熔点：17-19℃
    • 沸点：175-176℃
    • 蒸气压：1 mmHg (21.7℃)
    • 产品等级：7N5
    • 规格：10kg、18kg、200kg
    四甲基硅烷 （4MS）
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    四甲基硅烷 （4MS）
    • 中文名：四甲基硅烷
    • 英文名：Tetramethylsilane
    • CAS号：75-76-3
    • 熔点：-99℃
    • 沸点：26-28℃
    • 产品等级：7N5
    • 规格：10kg、20kg、110kg、125kg
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